5. AFM的纳米加工机理创造性贡献主要有哪些 1 。
建立了一种通过原子势能变化分析工件局部变形的分子动力学新的模型 ， 突破了现有分子动力学仿真分析方法中采用工件整体势能变化分析工件变形的局限性 。2 。
提出了AFM探针刻划过程中三维刻划力的测量方法 ， 成功用于刻划加工时探针几何参数和刻划工艺参数选择 ， 并从单位切削力的角度验证了分子动力学的仿真结果 。3 。
建立了基于AFM的纳米级加工系统 ， 并采用机械刻划方法 ， 成功地实现了多种复杂微小二维和三维结构的加工 ， 解决了微小空心薄壁玻璃靶球表面锥形微充气孔的加工难题 。4 。
提出了用“自下而上”与“自上而下”相结合新方法 ， 即基于AFM的纳米刻划加工与分子自组装相结合的方法 ， 实现了在单晶硅表面生成十六烯自组装分子的微纳米复合图案 。此外 ， 在博士论文工作的基础上 ， 目前采用该技术已成功加工出微米尺度纳米精度的复杂三维连续曲面结构如人脸、正弦、三角波等微结构 。
在20微米范围内制作了H 。Rohrer（扫瞄隧道显微镜和原子力显微镜的发明者）的三维人脸结构 ， 并作为礼物赠送给本人 。
关键词：原子力显微镜 ， 金刚石针尖 ， 纳米加工 ， 分子动力学 ， 微结构 。
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