【光刻机是干什么用的 光刻机是干什么用的通俗解释】

文章插图
1、它是光刻机中用于芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为几种：用于芯片生产的光刻机；有包装用的光刻机；在LED制造领域也有投影掩模对准器 。
2、用于生产芯片的光刻机是中国半导体设备制造最大的短板 。目前国内晶圆厂需要的高端光刻机完全依赖进口 。
3、掩模光刻机，也称为掩模光刻机、曝光系统、光刻系统等 。常用的掩模光刻机是掩模对准光刻，所以称为掩模对准系统 。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗干燥、底涂、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、刻蚀等过程 。光刻法是利用光来制作图案(工艺)；平整硅晶片表面，然后将掩模上的图案转移到光刻胶上，从而将器件或电路结构临时“复制”到硅晶片上的工艺 。

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