过程
然后就是重要的离子注入过程 , 在真空系统中 , 用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射固体材料 , 从而在被注入的区域形成特殊的注入层 , 并改变这些区域的硅的导电性 。
离子注入完成后 , 光刻胶也被清除 , 而注入区域(绿色部分)也已掺杂了不同的原子 。到了这一步 , 晶体管已经基本完成 。
晶圆切片与封装
然后我们就可以开始对它进行电镀了 , 操作方法是在晶圆上电镀一
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